2024-02-27閱讀量:
半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)壓縮空氣的要求非常嚴(yán)格,因?yàn)閴嚎s空氣直接與產(chǎn)品接觸,其質(zhì)量和純度直接影響到產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。以下是半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)壓縮空氣的主要要求:
顆粒控制:由于半導(dǎo)體產(chǎn)品的精密度非常高,微小的顆粒污染都可能導(dǎo)致產(chǎn)品失效。因此,要求壓縮空氣中的顆粒物濃度非常低,通常要求顆粒物濃度小于100個(gè)/立方英尺(或更低),以確保生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度和產(chǎn)品的質(zhì)量。
濕度控制:濕度對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品的影響也很大,過(guò)高的濕度可能導(dǎo)致產(chǎn)品受潮、腐蝕等問(wèn)題。因此,半導(dǎo)體壓縮空氣中的濕度必須受到嚴(yán)格控制,通常要求相對(duì)濕度低于50%,以防止產(chǎn)品受到水分的影響。
油分控制:壓縮空氣中的油分會(huì)對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品造成污染,影響產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。因此,要求壓縮空氣中的含油量非常低,通常要求總含油量小于1ppm,甚至更低。一些高端的應(yīng)用場(chǎng)合,如芯片制造等,甚至要求使用0級(jí)無(wú)油的壓縮空氣。
氣體純度:除了顆粒物、濕度和油分外,半導(dǎo)體行業(yè)還要求壓縮空氣具有一定的氣體純度。這主要是為了防止其他氣體成分對(duì)產(chǎn)品造成污染或影響產(chǎn)品的性能。一般來(lái)說(shuō),氮?dú)狻⒀鯕獾葰怏w的純度要求都比較高。
為了滿足這些要求,半導(dǎo)體行業(yè)通常會(huì)采用多級(jí)過(guò)濾、干燥和凈化等處理工藝,以確保壓縮空氣的質(zhì)量和純度達(dá)到生產(chǎn)要求。同時(shí),還會(huì)對(duì)壓縮空氣的生產(chǎn)、輸送和使用過(guò)程進(jìn)行嚴(yán)格的監(jiān)控和管理,以確保壓縮空氣的穩(wěn)定性和可靠性。
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