2024-04-17閱讀量:
微電子封裝對壓縮空氣的質(zhì)量有嚴格的要求,主要包括以下幾個方面:
顆粒物濃度:由于微電子產(chǎn)品的精密度非常高,微小的顆粒污染都可能導(dǎo)致產(chǎn)品失效。因此,壓縮空氣中的顆粒物濃度必須非常低,通常要求顆粒物濃度小于100個/立方英尺(或更低),以確保生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度和產(chǎn)品的質(zhì)量。
濕度控制:濕度對微電子產(chǎn)品的影響也很大,過高的濕度可能導(dǎo)致產(chǎn)品受潮、腐蝕等問題。因此,微電子封裝中的壓縮空氣必須嚴格控制濕度,通常要求相對濕度低于50%,以防止產(chǎn)品受到水分的影響。
壓力和流量:微電子封裝過程中對壓縮空氣的壓力和流量也有特定要求。普遍的壓力需求在0.7Mpa左右,但具體需求可能因不同的工藝步驟和設(shè)備而有所變化。
露點溫度:壓縮空氣的露點溫度也是一個重要指標。在微電子封裝中,對壓縮空氣的壓力露點要求可能很高,例如在-70°C或更低,以防止在封裝過程中形成冷凝水導(dǎo)致產(chǎn)品損壞。
為了滿足這些嚴格的要求,微電子行業(yè)通常會選擇使用無油螺桿式壓縮機或其他高效的空氣壓縮設(shè)備,以確保提供高質(zhì)量、潔凈和干燥的壓縮空氣。此外,還會配備各種過濾器和干燥器,以進一步凈化壓縮空氣,滿足微電子封裝的高標準。
總的來說,微電子封裝對壓縮空氣有多方面的嚴格要求,以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。在選擇和使用壓縮空氣系統(tǒng)時,必須充分考慮這些要求,并采取適當?shù)拇胧﹣頋M足它們。
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