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微電子封裝壓縮空氣指標要求

2024-04-17閱讀量:

  微電子封裝對壓縮空氣的質量有嚴格的要求,主要包括以下幾個方面:

  顆粒物濃度:由于微電子產品的精密度非常高,微小的顆粒污染都可能導致產品失效。因此,壓縮空氣中的顆粒物濃度必須非常低,通常要求顆粒物濃度小于100個/立方英尺(或更低),以確保生產環境的潔凈度和產品的質量。

  濕度控制:濕度對微電子產品的影響也很大,過高的濕度可能導致產品受潮、腐蝕等問題。因此,微電子封裝中的壓縮空氣必須嚴格控制濕度,通常要求相對濕度低于50%,以防止產品受到水分的影響。

  壓力和流量:微電子封裝過程中對壓縮空氣的壓力和流量也有特定要求。普遍的壓力需求在0.7Mpa左右,但具體需求可能因不同的工藝步驟和設備而有所變化。

  露點溫度:壓縮空氣的露點溫度也是一個重要指標。在微電子封裝中,對壓縮空氣的壓力露點要求可能很高,例如在-70°C或更低,以防止在封裝過程中形成冷凝水導致產品損壞。

  為了滿足這些嚴格的要求,微電子行業通常會選擇使用無油螺桿式壓縮機或其他高效的空氣壓縮設備,以確保提供高質量、潔凈和干燥的壓縮空氣。此外,還會配備各種過濾器和干燥器,以進一步凈化壓縮空氣,滿足微電子封裝的高標準。

  總的來說,微電子封裝對壓縮空氣有多方面的嚴格要求,以確保產品的質量和可靠性。在選擇和使用壓縮空氣系統時,必須充分考慮這些要求,并采取適當的措施來滿足它們。

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