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面板廠的大宗氣體品質(zhì)要求

2024-07-10閱讀量:

面板廠的大宗氣體品質(zhì)要求非常嚴(yán)格,這些要求直接關(guān)系到面板的生產(chǎn)質(zhì)量和性能。以下是對(duì)面板廠大宗氣體品質(zhì)要求的詳細(xì)分析:

一、純度要求

面板廠對(duì)大宗氣體的純度有極高的要求。一般來說,大宗氣體如氧氣、氮?dú)狻鍤獾龋诿姘逯圃爝^程中需要達(dá)到一定的純度標(biāo)準(zhǔn)。這些氣體的純度通常通過以下幾種方式表示:

  1. 百分?jǐn)?shù)表示:如99%、99.999%等,純度越高,表示氣體中的雜質(zhì)含量越低。
  2. “N”表示法:N代表百分?jǐn)?shù)中9的個(gè)數(shù),如3N表示99.9%,5N表示99.999%。在面板制造中,往往要求氣體純度達(dá)到5N或更高。
  3. PPM(Part Per Million)或PPB(Part Per Billion)表示:這些單位用于表示氣體中雜質(zhì)的濃度,PPM表示百萬分之一,PPB表示十億分之一。對(duì)于高純氣體,雜質(zhì)濃度通常要求控制在PPM或PPB級(jí)別。

二、潔凈度要求

除了純度要求外,面板廠對(duì)大宗氣體的潔凈度也有嚴(yán)格規(guī)定。氣體的潔凈度主要涉及到氣體中的顆粒度、油污、水分等雜質(zhì)的含量。這些雜質(zhì)如果超標(biāo),會(huì)對(duì)面板的制造過程產(chǎn)生不利影響,如影響薄膜的沉積質(zhì)量、刻蝕精度等。

  • 顆粒度要求:通常要求氣體中的顆粒度小于一定尺寸,如0.1μm或更小。
  • 油污和水分含量:這些雜質(zhì)必須控制在極低的水平,以避免對(duì)面板制造過程造成污染。

三、穩(wěn)定性和連續(xù)性要求

面板制造過程對(duì)氣體的供應(yīng)穩(wěn)定性和連續(xù)性也有很高的要求。供氣系統(tǒng)必須能夠在系統(tǒng)安全、供氣穩(wěn)定、連續(xù)不中斷的前提下,嚴(yán)格保證氣體的品質(zhì)及可靠性。這包括對(duì)氣體的壓力、流速等參數(shù)的精準(zhǔn)控制,以及對(duì)指標(biāo)波動(dòng)范圍的嚴(yán)格限制。

四、認(rèn)證和合規(guī)性要求

面板廠在選擇大宗氣體供應(yīng)商時(shí),還會(huì)關(guān)注供應(yīng)商是否具備相關(guān)的認(rèn)證和合規(guī)性。例如,供應(yīng)商需要通過ISO等國際質(zhì)量管理體系認(rèn)證,確保其生產(chǎn)的氣體符合國際標(biāo)準(zhǔn)和行業(yè)規(guī)范。同時(shí),供應(yīng)商還需要遵守相關(guān)的環(huán)保法規(guī)和安全規(guī)定,確保氣體的生產(chǎn)和使用過程對(duì)環(huán)境和人員安全無害。

五、具體案例

以某面板廠為例,其對(duì)大宗氣體的品質(zhì)要求可能包括以下幾個(gè)方面:

  • 氧氣純度要求達(dá)到99.999%以上,氮?dú)夂蜌鍤饧兌纫筮_(dá)到99.9995%以上。
  • 氣體中顆粒度要求小于0.1μm,油污和水分含量控制在極低水平。
  • 供氣系統(tǒng)需要實(shí)現(xiàn)24小時(shí)不間斷供應(yīng),且壓力、流速等參數(shù)波動(dòng)范圍控制在極小范圍內(nèi)。
  • 供應(yīng)商需要具備相關(guān)的國際質(zhì)量管理體系認(rèn)證和環(huán)保法規(guī)合規(guī)性證明。

綜上所述,面板廠對(duì)大宗氣體的品質(zhì)要求非常嚴(yán)格,這些要求涵蓋了純度、潔凈度、穩(wěn)定性和連續(xù)性等多個(gè)方面。只有滿足這些要求的大宗氣體才能被用于面板制造過程中,以確保面板的生產(chǎn)質(zhì)量和性能。

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