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面板廠的大宗氣體品質要求

2024-07-10閱讀量:

面板廠的大宗氣體品質要求非常嚴格,這些要求直接關系到面板的生產質量和性能。以下是對面板廠大宗氣體品質要求的詳細分析:

一、純度要求

面板廠對大宗氣體的純度有極高的要求。一般來說,大宗氣體如氧氣、氮氣、氬氣等,在面板制造過程中需要達到一定的純度標準。這些氣體的純度通常通過以下幾種方式表示:

  1. 百分數表示:如99%、99.999%等,純度越高,表示氣體中的雜質含量越低。
  2. “N”表示法:N代表百分數中9的個數,如3N表示99.9%,5N表示99.999%。在面板制造中,往往要求氣體純度達到5N或更高。
  3. PPM(Part Per Million)或PPB(Part Per Billion)表示:這些單位用于表示氣體中雜質的濃度,PPM表示百萬分之一,PPB表示十億分之一。對于高純氣體,雜質濃度通常要求控制在PPM或PPB級別。

二、潔凈度要求

除了純度要求外,面板廠對大宗氣體的潔凈度也有嚴格規定。氣體的潔凈度主要涉及到氣體中的顆粒度、油污、水分等雜質的含量。這些雜質如果超標,會對面板的制造過程產生不利影響,如影響薄膜的沉積質量、刻蝕精度等。

  • 顆粒度要求:通常要求氣體中的顆粒度小于一定尺寸,如0.1μm或更小。
  • 油污和水分含量:這些雜質必須控制在極低的水平,以避免對面板制造過程造成污染。

三、穩定性和連續性要求

面板制造過程對氣體的供應穩定性和連續性也有很高的要求。供氣系統必須能夠在系統安全、供氣穩定、連續不中斷的前提下,嚴格保證氣體的品質及可靠性。這包括對氣體的壓力、流速等參數的精準控制,以及對指標波動范圍的嚴格限制。

四、認證和合規性要求

面板廠在選擇大宗氣體供應商時,還會關注供應商是否具備相關的認證和合規性。例如,供應商需要通過ISO等國際質量管理體系認證,確保其生產的氣體符合國際標準和行業規范。同時,供應商還需要遵守相關的環保法規和安全規定,確保氣體的生產和使用過程對環境和人員安全無害。

五、具體案例

以某面板廠為例,其對大宗氣體的品質要求可能包括以下幾個方面:

  • 氧氣純度要求達到99.999%以上,氮氣和氬氣純度要求達到99.9995%以上。
  • 氣體中顆粒度要求小于0.1μm,油污和水分含量控制在極低水平。
  • 供氣系統需要實現24小時不間斷供應,且壓力、流速等參數波動范圍控制在極小范圍內。
  • 供應商需要具備相關的國際質量管理體系認證和環保法規合規性證明。

綜上所述,面板廠對大宗氣體的品質要求非常嚴格,這些要求涵蓋了純度、潔凈度、穩定性和連續性等多個方面。只有滿足這些要求的大宗氣體才能被用于面板制造過程中,以確保面板的生產質量和性能。

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