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半導(dǎo)體工藝氣體純度標(biāo)準(zhǔn)

2024-08-21閱讀量:

半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,工藝氣體的純度標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)苛至極,直接關(guān)系到產(chǎn)品的良率和可靠性。上海格蘭克林集團(tuán)生產(chǎn)的水潤(rùn)滑螺桿空壓機(jī),以其卓越的性能和純凈的壓縮空氣輸出,在保障半導(dǎo)體工藝氣體高純度方面發(fā)揮著關(guān)鍵作用。

半導(dǎo)體工藝對(duì)氣體的純度要求極高,通常要求達(dá)到99.9999%以上,甚至在某些先進(jìn)制程中要求更高。上海格蘭克林集團(tuán)水潤(rùn)滑螺桿空壓機(jī),通過其獨(dú)特的水潤(rùn)滑技術(shù),避免了傳統(tǒng)空壓機(jī)因使用潤(rùn)滑油而產(chǎn)生的污染問題,確保了壓縮空氣的純凈度。這種無油、純凈的壓縮空氣是半導(dǎo)體工藝中保持氣體高純度的關(guān)鍵。

此外,水潤(rùn)滑螺桿空壓機(jī)還具備高效、穩(wěn)定、節(jié)能的特點(diǎn),能夠持續(xù)穩(wěn)定地提供符合半導(dǎo)體工藝要求的高質(zhì)量壓縮空氣。在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,無論是光刻、蝕刻還是其他核心工藝環(huán)節(jié),都需要穩(wěn)定、純凈的氣體源來確保工藝的穩(wěn)定性和產(chǎn)品的良率。

綜上所述,上海格蘭克林集團(tuán)生產(chǎn)的水潤(rùn)滑螺桿空壓機(jī),憑借其卓越的性能和純凈的壓縮空氣輸出,在半導(dǎo)體工藝氣體純度保障中扮演著重要角色。它不僅滿足了半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)氣體高純度的嚴(yán)格要求,更為半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造質(zhì)量和可靠性提供了有力保障。

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