2025-02-06閱讀量：
半導體行業(yè)對壓縮空氣的要求極高，其壓縮空氣通常根據(jù)其純度、干燥度、含油量等指標進行分類。半導體壓縮空氣的等級分類一般如下：
| 等級 | 氣質（非水分）含量 | 含水量 | 油含量 | 適用范圍 |
|---|---|---|---|---|
| 常滿級 | ≥99.995% | ≤5mg/m³ | ≤0.003mg/m³ | 適用于半導體生產的最為敏感的環(huán)節(jié)，如光刻機、掃描電子顯微鏡等高科技制造設備。 |
| 超凈級 | ≥99.99% | ≤10mg/m³ | ≤0.01mg/m³ | 適用于半導體生產的各種環(huán)節(jié)，如濕法制程、晶圓清洗等。 |
| 凈級 | ≥99.9% | ≤20mg/m³ | ≤0.1mg/m³ | 適用于半導體生產的大多數(shù)環(huán)節(jié)，如化學氣相沉積、干法制程等。 |
| 干凈級 | ≥99.5% | ≤50mg/m³ | ≤0.5mg/m³ | 適用于部分半導體生產環(huán)節(jié)，如氧化爐、退火爐等。 |
| 保護級 | ≥98% | ≤100mg/m³ | ≤1mg/m³ | 適用于半導體生產的非關鍵環(huán)節(jié)，如測試設備、輔助設備等。 |
| 工業(yè)級 | ≥95% | ≤500mg/m³ | ≤5mg/m³ | 適用于半導體生產之外的設備，如普通機械設備、工廠壓縮空氣等。 |
| 大氣級 | ≥90% | ≤1000mg/m³ | ≤10mg/m³ | 適用于一些一般性較強的設備，如石油鉆采、某些全封閉恒溫器等。 |
這些等級分類旨在滿足不同半導體生產工藝對壓縮空氣質量的嚴格要求。在實際生產中，壓縮空氣的等級越高，生產成本越高。因此，在保證制程質量的前提下，應盡量使用低等級的壓縮空氣，以降低生產成本。半導體壓縮空氣等級標準在半導體生產中扮演著至關重要的角色，對于保證生產工藝的穩(wěn)定性和產品質量的提高都具有重要作用。
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