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半導(dǎo)體壓縮空氣分類

2025-02-06閱讀量:

半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)壓縮空氣的要求極高,其壓縮空氣通常根據(jù)其純度、干燥度、含油量等指標(biāo)進(jìn)行分類。半導(dǎo)體壓縮空氣的等級(jí)分類一般如下:

 

等級(jí) 氣質(zhì)(非水分)含量 含水量 油含量 適用范圍
常滿級(jí) ≥99.995% ≤5mg/m³ ≤0.003mg/m³ 適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的最為敏感的環(huán)節(jié),如光刻機(jī)、掃描電子顯微鏡等高科技制造設(shè)備。
超凈級(jí) ≥99.99% ≤10mg/m³ ≤0.01mg/m³ 適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的各種環(huán)節(jié),如濕法制程、晶圓清洗等。
凈級(jí) ≥99.9% ≤20mg/m³ ≤0.1mg/m³ 適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的大多數(shù)環(huán)節(jié),如化學(xué)氣相沉積、干法制程等。
干凈級(jí) ≥99.5% ≤50mg/m³ ≤0.5mg/m³ 適用于部分半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié),如氧化爐、退火爐等。
保護(hù)級(jí) ≥98% ≤100mg/m³ ≤1mg/m³ 適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的非關(guān)鍵環(huán)節(jié),如測(cè)試設(shè)備、輔助設(shè)備等。
工業(yè)級(jí) ≥95% ≤500mg/m³ ≤5mg/m³ 適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)之外的設(shè)備,如普通機(jī)械設(shè)備工廠壓縮空氣等。
大氣級(jí) ≥90% ≤1000mg/m³ ≤10mg/m³ 適用于一些一般性較強(qiáng)的設(shè)備,如石油鉆采、某些全封閉恒溫器等。

這些等級(jí)分類旨在滿足不同半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝對(duì)壓縮空氣質(zhì)量的嚴(yán)格要求。在實(shí)際生產(chǎn)中,壓縮空氣的等級(jí)越高,生產(chǎn)成本越高。因此,在保證制程質(zhì)量的前提下,應(yīng)盡量使用低等級(jí)的壓縮空氣,以降低生產(chǎn)成本。半導(dǎo)體壓縮空氣等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)在半導(dǎo)體生產(chǎn)中扮演著至關(guān)重要的角色,對(duì)于保證生產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量的提高都具有重要作用。

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