2025-02-06閱讀量：
半導(dǎo)體行業(yè)對壓縮空氣的要求極高，其壓縮空氣通常根據(jù)其純度、干燥度、含油量等指標進行分類。半導(dǎo)體壓縮空氣的等級分類一般如下：
| 等級 | 氣質(zhì)（非水分）含量 | 含水量 | 油含量 | 適用范圍 |
|---|---|---|---|---|
| 常滿級 | ≥99.995% | ≤5mg/m³ | ≤0.003mg/m³ | 適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的最為敏感的環(huán)節(jié)，如光刻機、掃描電子顯微鏡等高科技制造設(shè)備。 |
| 超凈級 | ≥99.99% | ≤10mg/m³ | ≤0.01mg/m³ | 適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的各種環(huán)節(jié)，如濕法制程、晶圓清洗等。 |
| 凈級 | ≥99.9% | ≤20mg/m³ | ≤0.1mg/m³ | 適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的大多數(shù)環(huán)節(jié)，如化學(xué)氣相沉積、干法制程等。 |
| 干凈級 | ≥99.5% | ≤50mg/m³ | ≤0.5mg/m³ | 適用于部分半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)，如氧化爐、退火爐等。 |
| 保護級 | ≥98% | ≤100mg/m³ | ≤1mg/m³ | 適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的非關(guān)鍵環(huán)節(jié)，如測試設(shè)備、輔助設(shè)備等。 |
| 工業(yè)級 | ≥95% | ≤500mg/m³ | ≤5mg/m³ | 適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)之外的設(shè)備，如普通機械設(shè)備、工廠壓縮空氣等。 |
| 大氣級 | ≥90% | ≤1000mg/m³ | ≤10mg/m³ | 適用于一些一般性較強的設(shè)備，如石油鉆采、某些全封閉恒溫器等。 |
這些等級分類旨在滿足不同半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝對壓縮空氣質(zhì)量的嚴格要求。在實際生產(chǎn)中，壓縮空氣的等級越高，生產(chǎn)成本越高。因此，在保證制程質(zhì)量的前提下，應(yīng)盡量使用低等級的壓縮空氣，以降低生產(chǎn)成本。半導(dǎo)體壓縮空氣等級標準在半導(dǎo)體生產(chǎn)中扮演著至關(guān)重要的角色，對于保證生產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量的提高都具有重要作用。
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