在半導(dǎo)體制造中，壓縮空氣的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)極為嚴(yán)格，需同時滿足潔凈度、化學(xué)純度和穩(wěn)定性要求。以下是關(guān)鍵參數(shù)及依據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)：

1. 核心標(biāo)準(zhǔn)體系

• ISO 8573-1:2010（壓縮空氣雜質(zhì)等級）
  • 含油量：需達(dá)到 Class 0（完全無油，殘留量≤0.01 mg/m³）。
  • 水含量：露點溫度≤-40°C（部分工藝要求-70°C以下）。
  • 顆粒物：需符合 ISO 8573-2 Class 1（0.1μm以上顆粒物≤200粒/m³）。
• SEMI標(biāo)準(zhǔn)（國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會）

  • SEMI F58-0701：規(guī)定氣體和液體純度，要求總含硫量≤0.1 ppm，無硅氧烷污染。

  • SEMI C1.3：針對晶圓傳輸系統(tǒng)，壓縮空氣需通過高效過濾器（HEPA級）。

2. 關(guān)鍵參數(shù)詳解

3. 應(yīng)用場景與特殊要求

• 晶圓傳輸與機器人
  • 需無油、無塵壓縮空氣驅(qū)動氣缸，避免微粒劃傷晶圓表面。
• 光刻與蝕刻工藝
  • 壓縮空氣用于鏡頭清潔或反應(yīng)腔室隔離，需控制總有機碳（TOC）≤50 ppb。
• 化學(xué)氣相沉積（CVD）
  • 壓縮空氣作為載氣時，需額外檢測CO?、NOx含量（通常要求≤1 ppm）。
• 潔凈室環(huán)境控制

  • 正壓通風(fēng)系統(tǒng)使用壓縮空氣時，需符合ISO 14644-1 Class 5潔凈度。

4. 系統(tǒng)設(shè)計要點

• 無油空壓機：采用水潤滑或PTFE涂層技術(shù)，避免油污染。

• 多級過濾：配置活性炭過濾器（去油蒸氣）、超精密過濾器（0.01μm級）。

• 管道處理：使用電解拋光不銹鋼管（Ra≤0.4μm），焊接連接減少泄漏。

• 實時監(jiān)控：安裝露點傳感器、油蒸氣檢測儀，數(shù)據(jù)可追溯（符合FDA 21 CFR Part 11）。

5. 驗證與認(rèn)證

• 第三方測試：由權(quán)威機構(gòu)（如SGS、TÜV）出具符合性報告。

• 周期性驗證：每季度檢測含油量、露點及顆粒物，每年全項分析。

半導(dǎo)體壓縮空氣標(biāo)準(zhǔn)需貫穿設(shè)備選型、系統(tǒng)設(shè)計及運維全流程，其嚴(yán)格性旨在避免工藝污染，確保良品率。隨著制程節(jié)點推進（如3nm以下），未來可能對納米級顆粒物及新型化學(xué)污染物提出更高要求。